Описание материалов:
Greene, Tweed's Voraz™ 511, a perfluoroelastomer, combines good resistance to CVD and etch plasmas with low stiction to enhance process chamber efficiency and increase uptime in FPD and solar applications. Additionally, Greene, Tweed's proprietary (patent pending) Extenis® manufacturing process facilitates the creation of large seals such as those used in Gen 5+ slit valve doors and chamber lids. This unique combination of materials properties and design capability make Voraz 511 a highly engineered seal solution that is optimized to reduce the total cost of tool ownership for FPD and solar process equipment.
| Главная Информация | |
|---|
| Используется | |
| Внешний вид | |
| Формы | |
| Физический | Номинальное значение | Единица измерения | Метод испытания |
|---|
| Удельный вес | 2.03 | g/cm³ | ASTM D297 |
| Твердость | Номинальное значение | Единица измерения | Метод испытания |
|---|
| Твердость дюрометра (Shore A) | 78 | | ASTM D2240 |
| Эластомеры | Номинальное значение | Единица измерения | Метод испытания |
|---|
| Tensile Stress | | | ASTM D1414 |
| 50% Strain | 2.83 | MPa | |
| 100% Strain | 6.38 | MPa | |
| Прочность на растяжение (Break) | 14.5 | MPa | ASTM D1414 |
| Удлинение при растяжении (Break) | 190 | % | ASTM D1414 |
| Комплект сжатия (204°C, 70 hr) | 23 | % | ASTM D395 |
| Тепловой | Номинальное значение | Единица измерения | |
|---|
| Service Temperature | 205 | °C | |
| Дополнительная информация | Номинальное значение | Единица измерения | |
|---|
| Точка прилипания | 8200 | g | |
